Base Platform Active

-미세한 바닥 진동을 실시간으로 감지하고 상쇄하여 고배율·고해상도 측정 환경을 제공하는 장비로, 

주사전자현미경(SEM) 및 투과전자현미경(TEM)의 선명한 이미지 확보에 필수적입니다

- 고감도 센서와 고속 제어 시스템을 기반으로 저주파 영역까지 효과적으로 진동을 제어하여,

반도체, 광학, 전자현미경, 레이저 및 정밀 계측 장비가 최고의 성능을 발휘할 수 있는 안정적인 환경을 제공합니다.

▶주 요 특 징

-실시간 진동 상쇄

- 6자유도 제어

- 고배율 유지

▶핵 심 기 술

- 고감도 센서가 외부 진동을 지속적으로 감지하고, 제어 시스템이 

실시간으로 보정하여 안정적인 플랫폼 상태를 유지

- 디지털 제어 알고리즘을 적용하여 다양한 진동 환경에서도 일정한 성능을 제공

- 자동 또는 정밀 수동 레벨링 기능으로 장비의 수평을 안정적으로 유지

- 장비 크기와 설치 환경에 맞춰 다양한 플랫폼 규격과 옵션을 제공

▶ 적용분야

- Scanning Electron Microscope (SEM)

- Focused Ion Beam (FIB)

- Transmission Electron Microscope (TEM)

- Scanning Tunneling Microscope (STM)